三坐標(biāo)測量機(jī)(CMM)是一種以精密機(jī)械為基礎(chǔ)，綜合應(yīng)用電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、光柵與激光干涉技術(shù)等先進(jìn)技術(shù)的檢測儀器。三坐標(biāo)測量機(jī)的主要功能是：
    (1)可實(shí)現(xiàn)空間坐標(biāo)點(diǎn)的測量，數(shù)控機(jī)床廠可方便地測量各種零件的三維輪廓尺寸、位置精度等。測量精確可靠，萬能性強(qiáng)。
    (2)由于計(jì)算機(jī)的引入，可方便地進(jìn)行數(shù)字運(yùn)算與程序控制，并具有很高的智能化程度。因此，它不僅可方便地進(jìn)行空間三維尺寸的測量，還可實(shí)現(xiàn)主動測量和自動檢測。在模具制造工業(yè)中，三坐標(biāo)測量機(jī)充分顯示了在測量方面的萬能性、測量對象的多樣性。
    (一)三坐標(biāo)測量機(jī)的分類與構(gòu)成
    三坐標(biāo)測量機(jī)按其工作方式可分為點(diǎn)位測量方式和連續(xù)掃描測量方式。點(diǎn)位測量方式是由測量機(jī)采集零件表面上一系列有意義的空間點(diǎn)，通過數(shù)學(xué)處理，求出這些點(diǎn)所組成的特定幾何元素的形狀和位置。連續(xù)掃描測量方式是對曲線、曲面輪廓進(jìn)行連續(xù)測量，多為大、中型測量機(jī)。
    根據(jù)三坐標(biāo)測量機(jī)的結(jié)構(gòu)形式及三個(gè)方向測量軸的相互配置位置的不同，三坐標(biāo)測量機(jī)可分為懸臂式、橋式、龍門式、立柱式、坐標(biāo)鏜床式等，如圖1—48所示。它們各有特點(diǎn)及相應(yīng)的適用范圍如下：
    (1)懸臂式的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊、數(shù)控機(jī)床廠工作面開闊、裝卸工件方便、便于測量，但懸臂易于變形，且變形量隨測量軸丁軸的位置變化，因此丁軸測量范圍受限。
    (2)橋式測量機(jī)結(jié)構(gòu)剛性好，x、y、z方向的行程大，一般為大型機(jī)。
    (3)龍門式的特點(diǎn)是龍門架剛度大，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好，精度較高。由于龍門或工作臺可以移動，使裝卸工件方便，但考慮龍門移動或工作臺移動的慣性，龍門式測量機(jī)一般為小型機(jī)。
    (4)立柱式適合于大型工件的測量。
    (5)坐標(biāo)鏜床式的結(jié)構(gòu)與鏜床基本相同，結(jié)構(gòu)剛性好，測量精度高，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜，適用于小型工件。
    三坐標(biāo)測量機(jī)按測量范圍可分為大型、中型和小型。按其精度可分兩類：①精密型，一般放在有恒溫條件的計(jì)量室，用于精密測量，分辨率一般為0．5～21lm；②生產(chǎn)型，數(shù)控機(jī)床廠一般放在生產(chǎn)車間，用于生產(chǎn)過程檢測，并可進(jìn)行末道工序的精加工，分辨率為5Flm或10憐m。
    三坐標(biāo)測量機(jī)的規(guī)格品種很多，但基本組成大致一樣，主要由測量機(jī)主體、測量系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。
    1．三坐標(biāo)測量機(jī)的主體
    三坐標(biāo)測量機(jī)的主體的運(yùn)動部件包括沿x軸移動的主滑架、沿丁向移動的副滑架、沿z向移動的z軸，以及底座、測量工作臺。測量機(jī)的工作臺多為花崗巖制造，具有穩(wěn)定、抗彎曲、抗振動、不易變形等優(yōu)點(diǎn)。
    2．三坐標(biāo)測量機(jī)的測量系統(tǒng)
    三坐標(biāo)測量機(jī)的測量系統(tǒng)包括測頭和標(biāo)準(zhǔn)器。三坐標(biāo)測量機(jī)的測頭用來實(shí)現(xiàn)對工件的測量，是直接影響測量機(jī)測量精度、操作的自動化程度和檢測效率的重要部件。
    三坐標(biāo)測量機(jī)的測頭可分接觸式和非接觸式兩類。數(shù)控機(jī)床廠在接觸式測量頭中又分機(jī)械式測頭和電氣式測頭。此外，生產(chǎn)型測量機(jī)還可配有專用測頭式切削工具，如專用銑削頭和氣動鉆頭等。
    機(jī)械接觸式測頭為具有各種形狀(如錐形、球形)的剛性測頭、帶千分表的測頭以及劃針式工具。機(jī)械接觸式測頭主要用于手動測量，由于手動測量的測量力不易控制，測量力的變化會降低瞄準(zhǔn)精度，因此只適用于一般精度的測量。
    電氣接觸式測頭的觸端與被測件接觸后可作偏移，傳感器輸出模擬位移量信號。這種測頭既可以用于瞄準(zhǔn)(過零發(fā)信)，也可以用于測微(測給定坐標(biāo)值的偏差)，因此電氣接觸式測頭主要分為電觸式開關(guān)測頭和三向測微電感測頭，其中電觸式開關(guān)測頭應(yīng)用較廣泛。
    非接觸式測頭主要由光學(xué)系統(tǒng)構(gòu)成，如投影屏式顯微鏡、電視掃描頭，適用于軟、薄、脆的工件測量。
    (二)三坐標(biāo)測量機(jī)的測量方法
    一般點(diǎn)位測量有三種測量方法：直接測量、數(shù)控機(jī)床廠程序測量和自學(xué)習(xí)測量。
    (1)直接測量方法(即手動測量)。操作員將決定的順序利用鍵盤輸入指令，系統(tǒng)逐步執(zhí)
行的操作方式，測量時(shí)根據(jù)被測零件的形狀調(diào)用相應(yīng)的測量指令，以手動或數(shù)控方式采樣，其
中數(shù)控方式是把測頭拉到接近測量部位，系統(tǒng)根據(jù)給定的點(diǎn)數(shù)自動采點(diǎn)。測量機(jī)通過接口將測量點(diǎn)坐標(biāo)值送入計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理，并將結(jié)果輸出顯示或打印。
    (2)程序測量方法。將測量一個(gè)零件所需要的全部操作按照其執(zhí)行順序編程，以文件形式存入磁盤，測量時(shí)按運(yùn)行程序控制測量機(jī)自動測量。該方法適用于成批零件的重復(fù)測量。
    零件測量程序的結(jié)構(gòu)一般包括以下內(nèi)容：
    1)程序初始化。如指定文件名、存儲器置零、對不同于缺省條件的某些條件給出有關(guān)選擇指令。
    2)測頭管理和零件管理。如測頭定義或再校正、數(shù)控機(jī)床廠臨時(shí)零點(diǎn)定義、數(shù)學(xué)找正、建立永久原點(diǎn)等。
    3)測量的循環(huán)。①定位，使測頭在進(jìn)入下一采樣點(diǎn)前，先進(jìn)入定位點(diǎn)(使測頭接近采樣點(diǎn)時(shí)可避免碰撞工件的位置)；②采樣處理，包括預(yù)備指令和操作指令，如測孔指令前先給出采樣點(diǎn)數(shù)、孔的軸線理論坐標(biāo)及直徑等參數(shù)的指令；③測量值的處理；④關(guān)閉文件結(jié)束整個(gè)測量過程。
    (3)自學(xué)習(xí)測量方法。操作者對第一個(gè)零件執(zhí)行直接測量方式的正常測量循環(huán)中，借助適當(dāng)命令使系統(tǒng)自動產(chǎn)生相應(yīng)的零件測量程序，對其余零件測量時(shí)重復(fù)調(diào)用。該方法與手I編程相比，省時(shí)且不易出錯。但要求操作員熟練掌握直接測量技巧，注意操作的目的是獲得零件測量程序，嚴(yán)格掌握操作的正確性。
    自學(xué)習(xí)測量過程中，系統(tǒng)可以兩種方式進(jìn)行自學(xué)習(xí)：對于系統(tǒng)不需要對其進(jìn)行任何計(jì)算的指令，如測頭定義、參考坐標(biāo)系的選擇等指令，系統(tǒng)采用直接記錄方式。數(shù)控機(jī)床廠許可記錄方式用于測量計(jì)算的有關(guān)指令，只有在操作者確認(rèn)無誤時(shí)才記錄，如測頭校正、零件校正等指令。當(dāng)測量循環(huán)完成或在執(zhí)行程序的過程中發(fā)現(xiàn)操作錯誤時(shí)，可中斷零件程序的生成，進(jìn)入編輯狀態(tài)修改，然后再從斷點(diǎn)啟動。
    (三)三坐標(biāo)測量機(jī)的應(yīng)用
    (1)多種幾何量的測量。測量前必須根據(jù)被測件的形狀特點(diǎn)選擇測頭并進(jìn)行測頭的定義和校驗(yàn)，并對被測件的安裝位置進(jìn)行找正。
    1)觸頭的定義和校驗(yàn)。在測量過程中，當(dāng)觸頭接觸零件時(shí)，計(jì)算機(jī)將存人測頭中心坐標(biāo)，而不是零件接觸點(diǎn)的實(shí)際坐標(biāo)，因而觸頭的定義包括觸頭半徑和測桿的長度造成的中心偏置，以及多觸頭測量時(shí)各個(gè)觸頭定義代碼。測量觸頭的校驗(yàn)還包括使計(jì)算機(jī)記錄各觸頭沿測量機(jī)不同方向測同一測點(diǎn)時(shí)的長度差別，以便實(shí)際測量時(shí)系統(tǒng)能自動補(bǔ)償。觸頭的定義和校驗(yàn)可直接調(diào)用測頭管理程序、參考點(diǎn)標(biāo)定和測頭校正程序來進(jìn)行，將各觸頭分別測量固定在工作臺上已標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)球或杯準(zhǔn)塊，計(jì)算機(jī)即將各測頭測量時(shí)的坐標(biāo)值計(jì)算出各觸頭的實(shí)際球徑和相互位置尺寸，并將這些數(shù)據(jù)存儲于寄存器作為以后測量時(shí)的補(bǔ)償值。經(jīng)過校驗(yàn)的不同觸頭測同一點(diǎn)，數(shù)控機(jī)床廠可得到同樣的測量結(jié)果。
    2)零件的找正。指在測量機(jī)上用數(shù)學(xué)方法為工件的測量建立新的坐標(biāo)基準(zhǔn)。測量時(shí)，工件任意放置在工作臺上，其基準(zhǔn)線或基準(zhǔn)面與測量機(jī)的坐標(biāo)軸(x、y、z軸的移動方向)不需要精確找正，為了消除這種基準(zhǔn)不重合對測量精度的影響，用計(jì)算機(jī)對其進(jìn)行坐標(biāo)轉(zhuǎn)換，根據(jù)新基準(zhǔn)計(jì)算校正測量結(jié)果。因此，這種零件找正的方法稱為數(shù)學(xué)找正。
零件找正的主要步驟有：①根據(jù)采用的三維找正或二維找正方法，確定初始參考坐標(biāo)系；②運(yùn)行找正程序；③選定第一坐標(biāo)軸；④調(diào)用相應(yīng)子程序進(jìn)行測量并存儲結(jié)果；⑤選第二坐標(biāo)軸；⑥調(diào)用相應(yīng)子程序進(jìn)行測量并存儲結(jié)果。對于三維找正中的第三軸，系統(tǒng)自動根據(jù)右手坐標(biāo)準(zhǔn)則確定。
    工件測量坐標(biāo)系設(shè)定后，即可調(diào)用測量指令進(jìn)行測量。三坐標(biāo)測量機(jī)測量被測工件的形狀、位置、中心和尺寸等方面的應(yīng)用舉例。
    (2)實(shí)物程序編制。對于在數(shù)控機(jī)床上加工的形狀復(fù)雜的零件，當(dāng)其形狀難于建立數(shù)學(xué)模型使程序編制困難時(shí)，常常可以借助于測量機(jī)。通過對木質(zhì)、塑料、數(shù)控機(jī)床廠黏土或石膏制的模型或?qū)嵨锏臏y量，得到加工面幾何形狀的各項(xiàng)參數(shù)，經(jīng)過實(shí)物程序軟件系統(tǒng)的處理，輸出所需結(jié)果。
    例如，高速數(shù)字化掃描機(jī)實(shí)際上是一臺連續(xù)掃描測量方式的坐標(biāo)測量機(jī)，主要用于對模具未知曲面進(jìn)行掃描測量，可將測得的數(shù)據(jù)存人計(jì)算機(jī)，根據(jù)模具制造需要，實(shí)現(xiàn)：①對掃描模型進(jìn)行陰、陽模轉(zhuǎn)換，生成需要的CNC加工程序；②借助繪圖設(shè)備和繪圖軟件得到復(fù)雜零件的設(shè)計(jì)圖樣，即生成各種CAD數(shù)據(jù)。
    (3)輕型加工。生產(chǎn)型三坐標(biāo)測量機(jī)除用于零件的測量外，還可用于劃線、打沖眼、鉆孑L、微量銑削及末道工序精加工等輕型加工，在模具制造中可用于模具的安裝、裝配。
    三坐標(biāo)劃線機(jī)即立柱式三坐標(biāo)測量機(jī)，數(shù)控機(jī)床廠主要用于金屬加工中的精密劃線和外形輪廓的檢測，特別適用于大型工件制造、模具制造、汽車和造船制造業(yè)及鑄件加工等。它與生產(chǎn)型三坐標(biāo)測量機(jī)在結(jié)構(gòu)和精度上有較大區(qū)別，屬于生產(chǎn)適用型三坐標(biāo)機(jī)，可承受檢測環(huán)境較惡劣的劃線和計(jì)量測試技術(shù)工作。